Vakuumkarburering er å varme opp arbeidsstykket i vakuum.Når den når temperaturen over det kritiske punktet, vil den forbli i en periode, avgasse og fjerne oksidfilmen, og deretter føre inn den rensede karbureringsgassen for karburering og diffusjon.Karbureringstemperaturen ved vakuumkarburering er høy, opptil 1030 ℃, og karbureringshastigheten er rask.Overflateaktiviteten til karburerte deler forbedres ved avgassing og deoksidering.Den påfølgende diffusjonshastigheten er for høy.Karburering og diffusjon utføres gjentatte ganger og vekselvis til ønsket overflatekonsentrasjon og dybde er nådd.
Vakuumkarbureringsdybde og overflatekonsentrasjon kan kontrolleres;Det kan endre de metallurgiske egenskapene til overflatelaget til metalldeler, og dens effektive karbureringsdybde er dypere enn den faktiske karbureringsdybden til andre metoder.