Kjennetegn:

1) Nitreringshastigheten er raskere, nitreringssyklusen kan forkortes tilsvarende, og den ioniske nitreringstiden kan forkortes til 1/3-2/3 av gassnitreringstiden.

2) Nitreringslagets sprøhet er liten, og det hvite laget som dannes på overflaten av plasmanitrering er svært tynt, eller til og med intet. I tillegg er deformasjonen forårsaket av nitreringslaget liten, noe som er spesielt egnet for presisjonsdeler med komplekse former.

3) Energi- og ammoniakkforbruk kan spares. Elektrisk energiforbruk er 1/2–1/5 av gassnitrering, og ammoniakkforbruket er 1/5–1/20 av gassnitrering.

4) Det er enkelt å oppnå lokal nitrering, så lenge delen som ikke ønsker nitrering ikke produserer glød, er den ikke-nitrerende delen enkel å beskytte, og gløden kan beskyttes med mekanisk skjerming og jernplate.

5) Ionebombardement kan rense overflaten og fjerne passiveringsfilmen automatisk. Rustfritt stål og varmebestandig stål kan nitrideres direkte uten å fjerne passiveringsfilmen på forhånd.

6) Strukturen på det sammensatte laget, tykkelsen og strukturen på infiltrasjonslaget kan kontrolleres.

7) Behandlingstemperaturområdet er bredt, og en viss tykkelse på nitreringslaget kan oppnås selv under 350 C.

8) Arbeidsforholdene er forbedret. Forurensningsfri plasmanitreringsbehandling utføres under svært lavt trykk med svært lite eksosgass. Gasskilden er nitrogen, hydrogen og ammoniakk, og det produseres i utgangspunktet ingen skadelige stoffer.

9) Den kan brukes på alle slags materialer, inkludert rustfritt stål, varmebestandig stål med høy nitreringstemperatur, verktøystål og presisjonsdeler med lav nitreringstemperatur, mens lavtemperaturnitrering er ganske vanskelig for gassnitrering.